上圖為利用DRIE工藝研制的硅擒縱輪

上圖為利用DRIE工藝研制的硅游絲

上圖為利用DRIE工藝研制的硅擒縱叉

    單晶硅的密度大約為鋼的1/3 ，線脹系數是鋼的1/5，彈性模量與鋼相當，具有較高的硬度，具有美麗的色澤和良好的抗腐蝕性，硬脆，易沿某個晶面開裂。除上述性能外，硅材料具有較低摩擦系數、無磁性、低的內耗。除此之外實驗表明，利用MEMS技術加工的單晶硅擒縱調速零件，解決了擒縱輪齒形分布不均勻，游絲動態過程中，中心的偏移產生的干擾力矩等因素對等時性的影響，有效提高了走時精度。